山梨大学 OPAC

クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 / 山田公編著
クラスターイオンビームキソトオウヨウ : ジセダイナノカコウプロセスギジュツ

データ種別	図書
出版者	東京 : 日刊工業新聞社
出版年	2006.10
本文言語	日本語
大きさ	xi, 223p ; 21cm
別書名	標題紙タイトル:Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process 標題紙タイトル:クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
著者標目	山田, 公 <ヤマダ, イサオ>

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