山梨大学 OPAC

ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 15)

データ種別	図書
出版者	東京 : 培風館
出版年	1995.12
本文言語	日本語
大きさ	xi, 366p ; 22cm
別書名	異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
一般注記	参考文献: 各章末
著者標目	大見, 忠弘(1939-) <オオミ, タダヒロ>

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