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プラズマイオンプロセスとその応用 / 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会編
プラズマ イオン プロセス ト ソノ オウヨウ

データ種別 図書
出版者 東京 : オーム社
出版年 2005.10
本文言語 日本語
大きさ xi, 279p ; 22cm
一般注記 文献:章末
著者標目 電気学会 <デンキ ガッカイ>
電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 <デンキ ガッカイ プラズマ イオン コウド リヨウ プロセス チョウサ センモン イインカイ>

所蔵情報を非表示

本館2F一般書架
549.1 2005042587
4274201236 2005.10

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:イオンビーム加工
BSH:プラズマ物理学
分 類 NDC8:549.1
NDC9:549.1
書誌ID 2000266749
ISBN 4274201236
NCID BA73952112
巻冊次 ISBN:4274201236 ; PRICE:4900円+税

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