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クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 / 山田公編著
クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ

データ種別 図書
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2006.10
本文言語 日本語
大きさ xi, 223p ; 21cm
別書名 標題紙タイトル:Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process
標題紙タイトル:クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
著者標目 山田, 公 <ヤマダ, イサオ>

所蔵情報を非表示

本館書庫・一般書架和
549.1 2006028875
4526057657 2006.10
クリーンエネルギー研究センター(13602)
549.1 2007032126
4526057657 2006.10

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:イオンビーム
分 類 NDC8:549.1
NDC9:549.1
書誌ID 2000279436
ISBN 4526057657
NCID BA79102802
巻冊次 ISBN:4526057657 ; PRICE:3200円+税

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