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半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として / 宇佐美晶, 徳田豊 [著]
ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ
(Basic selection)

データ種別 図書
出版者 東京 : リアライズ・アドバンストテクノロジ
出版年 c2006
本文言語 日本語
大きさ 628p ; 30cm
別書名 異なりアクセスタイトル:半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として
一般注記 1990年2月刊の複製
背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)
参考文献あり
著者標目 宇佐美, 晶 <ウサミ, アキラ>
徳田, 豊 <トクダ, ユタカ>

所蔵情報を非表示

本館2F一般書架
549.8 2011014656
4898080529 c2006

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 2000349087
ISBN 4898080529
NCID BA87878710
巻冊次 ISBN:4898080529 ; PRICE:31500円

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