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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 / 佐藤淳一著
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ : リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル : ビサイカ ノ カギ
(How-nual図解入門 ; visual guide book)

データ種別 図書
出版者 東京 : 秀和システム
出版年 2011.10
本文言語 日本語
大きさ 271p ; 21cm
一般注記 文献:p271
著者標目 佐藤, 淳一(1954-) <サトウ, ジュンイチ>

所蔵情報を非表示

本館2F一般書架
549.7 2011076987
9784798030630 2011.10

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:リソグラフィー
BSH:半導体
分 類 NDC8:549.7
NDC9:549.7
書誌ID 2000355837
ISBN 9784798030630
NCID BB07554941
巻冊次 ISBN:9784798030630

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