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超微細加工の基礎 : 電子デバイスプロセス技術 / 麻蒔立男著
チョウビサイ カコウ ノ キソ : デンシ デバイス プロセス ギジュツ

データ種別 図書
第2版
出版者 東京 : 日刊工業新聞社
出版年 2001.9
本文言語 日本語
大きさ x, 295p ; 21cm
著者標目 麻蒔, 立男(1934-) <アサマキ, タツオ>

所蔵情報を非表示

本館2F一般書架
549.8 2002024070
4526048127
工学部(37012)
549.8 2002011880
4526048127

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 2000153558
ISBN 4526048127
NCID BA53699368
巻冊次 ISBN:4526048127 ; PRICE:3900円

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