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マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術 / マイクロマシン技術総覧編集委員会編
マイクロマシン ギジュツ ソウラン : ナノテクノロジー ノ キバン ギジュツ

データ種別	図書
出版者	東京 : 産業技術サービスセンター
出版年	2003.1
本文言語	日本語
大きさ	753, 6p ; 27cm
別書名	異なりアクセスタイトル:マイクロマシン技術総覧 : ナノテクノロジーの基盤技術
一般注記	編集委員長: 樋口俊郎
著者標目	マイクロマシン技術総覧編集委員会 <マイクロ マシン ギジュツ ソウラン ヘンシュウ イインカイ> 樋口, 俊郎 <ヒグチ, トシロウ>

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