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プラズマ半導体プロセス工学 : 成膜とエッチング入門 / 市川幸美, 佐々木敏明, 堤井信力共著
プラズマ ハンドウタイ プロセス コウガク : セイマク ト エッチング ニュウモン

データ種別 図書
出版者 東京 : 内田老鶴圃
出版年 2003.7
本文言語 日本語
大きさ viii, 289p ; 22cm
著者標目 市川, 幸美 <イチカワ, ユキミ>
佐々木, 敏明 <ササキ, トシアキ>
堤井, 信力 <テイイ, シンリキ>

所蔵情報を非表示

本館2F一般書架
549.8 2007025706
4753650480 2003.7
工学部(37019)
549.8 2008000969
4753650480 2003.7

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:半導体
BSH:プラズマ
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 2000290736
ISBN 4753650480
NCID BA6324911X
巻冊次 ISBN:4753650480 ; PRICE:4000円

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