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スパタリング現象 : 基礎と薄膜・コーティング技術への応用 / 金原粲著
スパタリング ゲンショウ : キソ ト ハクマク ・ コーティング ギジュツ エノ オウヨウ

データ種別 図書
出版者 東京 : 東京大学出版会
出版年 1984.3
本文言語 日本語
大きさ ix, 231p ; 22cm
一般注記 各章末: 参考文献
一般的参考書: p226
著者標目 金原, 粲(1933-) <キンバラ, アキラ>

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本館書庫・一般書架和
431.86 0085002723
4130610473

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件 名 NDLSH:薄膜
分 類 NDC8:549
NDLC:ND371
NDC9:549.8
書誌ID 2000012073
ISBN 4130610473
NCID BN00164488
巻冊次 ISBN:4130610473 ; PRICE:2800円

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