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マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
マイクロ リソグラフィー : IC LSI ワ コウシテ ツクラレル
(Frontier technology series ; [002])

データ種別 図書
出版者 東京 : 丸善
出版年 1986.10
本文言語 日本語
大きさ viii, 116p ; 19cm
一般注記 参考書: p115-116
著者標目 野々垣, 三郎 <ノノガキ, サブロウ>

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本館書庫・一般書架和
549.8 2000506148
4621031155

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:フォートエッチング
NDLSH:リソグラフィー
分 類 NDC8:749.1
NDC7:749.13
NDLC:ND386
書誌ID 2000015831
ISBN 4621031155
NCID BN01140871
巻冊次 ISBN:4621031155 ; PRICE:1260円

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