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真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳
シンクウ ジョウチャク

データ種別	図書
出版者	東京 : アグネ
出版年	1977.5
本文言語	日本語
大きさ	144p ; 22cm
別書名	原タイトル:Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen
一般注記	文献:p139〜144
著者標目	Schiller, Siegfried, 1933- Heisig, Ullrich, 1933- 日本真空技術株式会社 <ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ>

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