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集積ナノデバイス / 平本俊郎編著 ; 内田建, 杉井信之, 竹内潔著
シュウセキ ナノデバイス
(半導体デバイスシリーズ ; 1)

データ種別	図書
出版者	東京 : 丸善
出版年	2009.11
本文言語	日本語
大きさ	xvii, 227p ; 21cm
一般注記	文献: 章末
著者標目	平本, 俊郎(1960-) <ヒラモト, トシロウ> 内田, 建 <ウチダ, ケン> 杉井, 信之 <スギイ, ノブユキ> 竹内, 潔 <タケウチ, キヨシ>

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