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ULSIプロセス技術 / 原央編
ULSI プロセスギジュツ
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)

データ種別	図書
出版者	東京 : 培風館
出版年	1997.6
本文言語	日本語
大きさ	x, 286p ; 22cm
一般注記	執筆: 有門経敏ほか参考文献: 各章末索引あり
著者標目	原, 央 <ハラ, ヒサシ>

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配架場所	巻　次	請求記号	登録番号	状　態	コメント	ISBN	刷　年	請求メモ	予約	複写取寄	eDDS
本館2F一般書架		549.7	0970034603			456303617X		請求メモ				請求メモ
クリーンエネルギー研究センター(13602)		549.7	0990036527			456303617X		請求メモ				請求メモ
工学部(32017)		549.7	2001031667			456303617X		請求メモ				請求メモ

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件　名	NDLSH:集積回路
分　類	NDC8:549.7 NDC9:549.7
書誌ID	2000101811
ISBN	456303617X
NCID	BA30760470
巻冊次	ISBN:456303617X ; PRICE:5600円