Mendeley出力
ULSIプロセス技術 / 原央編
ULSI プロセス ギジュツ
(アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 培風館 |
| 出版年 | 1997.6 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | x, 286p ; 22cm |
| 一般注記 | 執筆: 有門経敏ほか 参考文献: 各章末 索引あり |
| 著者標目 | 原, 央 <ハラ, ヒサシ> |
所蔵情報を非表示
| 配架場所 | 巻 次 | 請求記号 | 登録番号 | 状 態 | コメント | ISBN | 刷 年 | 請求メモ | 予約 | 複写取寄 | eDDS |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 本館2F一般書架 |
|
549.7 | 0970034603 |
|
456303617X |
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| クリーンエネルギー研究センター(13602) |
|
549.7 | 0990036527 |
|
456303617X |
|
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| 工学部(32017) |
|
549.7 | 2001031667 |
|
456303617X |
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