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半導体・MEMSのための超臨界流体 / 近藤英一 [ほか] 著
ハンドウタイ MEMS ノ タメ ノ チョウリンカイ リュウタイ

データ種別 図書
出版者 東京 : コロナ社
出版年 2012.9
本文言語 日本語
大きさ vii, 227p : 挿図 ; 21cm
別書名 奥付タイトル:Supercritical fluid technology in MEMS and semiconductor processing
異なりアクセスタイトル:半導体MEMSのための超臨海流体
一般注記 引用・参考文献: p[212]-222
その他の著者: 上野和良, 内田寛, 曽根正人, 生津英夫, 服部毅, 掘照夫, 森口誠
著者標目 近藤, 英一 <コンドウ, エイイチ>
上野, 和良 <ウエノ, カズヨシ>
内田, 寛 <ウチダ, ヒロシ>
曽根, 正人 <ソネ, マサト>
生津, 英夫 <ナマツ, ヒデオ>
服部, 毅 <ハットリ, タケシ>
堀, 照夫 <ホリ, テルオ>
森口, 誠 <モリグチ, マコト>

所蔵情報を非表示

本館2F一般書架
549.8 2013000949
9784339008371 2012.9
工学部(34020)
549.8 2012026200
9784339008371 2012.9

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:半導体
BSH:マイクロマシン
BSH:超臨界流体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 2000360043
ISBN 9784339008371
NCID BB10243699
巻冊次 ISBN:9784339008371 ; PRICE:3400円+税

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