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薄膜化技術 / 和佐清孝, 早川茂著
ハクマクカ ギジュツ

データ種別 図書
第3版
出版者 東京 : 共立出版
出版年 2002.6
本文言語 日本語
大きさ viii, 316p ; 22cm
一般注記 折り込図1枚: 元素周期表 (蒸気圧・スパッタ率・薄膜形成法)
文献: 各章末
著者標目 和佐, 清孝 <ワサ, キヨタカ>
早川, 茂 <ハヤカワ, シゲル>

所蔵情報を非表示

本館2F一般書架
549.8 2002034800
4320086139

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:薄膜
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 2000164334
ISBN 4320086139
NCID BA57243403
巻冊次 ISBN:4320086139 ; PRICE:5000円

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