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超微細加工技術 / 応用物理学会編 ; 徳山巍編著
チョウビサイ カコウ ギジュツ
(応用物理学シリーズ / 応用物理学会編 ; 専門コース)

データ種別 図書
出版者 東京 : オーム社
出版年 1997.2
本文言語 日本語
大きさ xiv,309p ; 22cm
一般注記 参考文献: 各章末
索引: p[305]-309
執筆: 徳山巍ほか
著者標目 応用物理学会 <オウヨウ ブツリ ガッカイ>
徳山, 巍(1929-) <トクヤマ, タカシ>

所蔵情報を非表示

本館2F一般書架
549.8 2000033248
427402332X
本館2F一般書架
549.8 2004050144
427402332X

書誌詳細を非表示

件 名 NDLSH:ガラス
NDLSH:ガラス製品
BSH:半導体
NDLSH:集積回路
分 類 NDC9:549.7
NDC8:573.5
NDC8:549.8
NDLC:PA241
書誌ID 2000129813
ISBN 427402332X
NCID BN15970232
巻冊次 ISBN:427402332X ; PRICE:6695円

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