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半導体ドライエッチング技術 / 徳山巍編著
ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
(集積回路プロセス技術シリーズ)

データ種別 図書
出版者 東京 : 産業図書
出版年 1992.10
本文言語 日本語
大きさ xiii, 394p ; 22cm
一般注記 監修: 菅野卓雄
著者標目 徳山, 巍(1929-) <トクヤマ, タカシ>

所蔵情報を非表示

本館2F一般書架
549.7 2001035773
4782856288
工学部(34025)
549.7 2001005100
4782856288

書誌詳細を非表示

件 名 BSH:集積回路
NDLSH:半導体
分 類 NDC8:549.7
NDC7:549.8
NDLC:ND371
書誌ID 2000134683
ISBN 4782856288
NCID BN08137616
巻冊次 ISBN:4782856288 ; PRICE:5768円

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